Mîkrofonên MEMS bi gelemperî ji senzorên mîkrokapacitive MEMS, çerxên veguheztina mîkro-entegre, odeyên akustîk, û çerxên dijî-destwerdana RF-ê pêk tên.Serê mîkrokapacitansê MEMS ji bo wergirtina deng diafragmayek silicon û elektrodek pişta silicon heye.Diafragmaya silicon dikare rasterast sînyala deng werbigire û wê bi riya senzora mîkro-kapasîteya MEMS veguhezîne çerxa mîkro-entegre.Çîroka mîkro-entegre sînyala elektrîkê ya bihîstwerî ya bilind-impedansî vediguhezîne û tê zêdekirin nav sînyalek elektrîkî ya kêm-impedansî, ku di heman demê de ji hêla çerxa dijî-dengê RF ve tê fîlter kirin, û sînyalek elektrîkî ya ku bi pêş-circuyê re têkildar e derdixe, " akustîk-elektrîk” veguhertina qediya.Bi xwendina sînyalên elektrîkê, naskirina deng pêk tê.
Dema şandinê: Dec-06-2022
